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罗茨真空泵设计/工作原理

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-08 0:44:43 * 浏览: 0
工作原理单级罗茨泵的工作原理等同于第4.5节中描述的多级罗茨泵的工作原理。在罗茨真空泵中,两个同步反向旋转的转子(4个)在壳体中非接触地旋转(图4.16)。转子具有八字形构造,并且通过转子和转子之间的狭窄间隙彼此分开。它的工作原理类似于带双齿齿轮的齿轮泵,将气体从进口(3)泵送到出口(12)。一根轴由电动机(1)驱动。另一个轴通过齿轮腔中的一对齿轮(6)同步。润滑仅限于两个轴承和齿轮箱,它们通过带有压缩环的迷宫式密封件(5)与吸入室(8)密封。由于吸入室中没有摩擦,因此罗茨真空泵可以高速(1,500 nd,3,000 rpm)运行。不可往复运动的质量块还提供了无故障的动态平衡,这意味着罗茨真空泵尽管运行速度却非常安静。转子轴轴承设计为布置在两个侧盖中。它们的一侧设计为固定轴承,另一侧设计为活动(松动)轴承,以实现壳体和转子之间的不平衡热膨胀。轴承使用通过飞溅盘置换到轴承和齿轮上的油润滑。驱动轴穿通孔的标准版本通过浸入密封油中的FPM制成的径向轴密封圈从外部进行密封。为了保护轴,密封环在保护套上滑动,磨损后可以更换。如果在外部和外部之间需要紧密密封,则泵也可以由带有滤罐的永磁联轴器驱动。此设计提供的泄漏率QI小于10-6Pam3s-1。泵的性能,加热由于罗茨泵没有内部压缩阀或出口阀,因此当吸入腔打开时,其气体量会返回到吸入腔,必须根据出口压力重新排放。由于这种作用,特别是在入口和出口之间存在高压差的情况下,会发生高能量耗散,这导致泵在低气流下显着加热,而低气流只能输送少量的气体。热。与外壳相比,旋转式罗茨活塞很难冷却,因为它们实际上是真空绝缘的。因此,它们的膨胀比套管更严重。为防止接触或卡住,安全阀(7)限制了z *可能的压差和耗散能量。阀通过通道连接到泵的入口侧和压力侧。当超过z *的较大压差且z *的较大压差使沉重的锤阀板打开时,进气的较大或较小部分将从压力侧流回到进气侧(取决于吞吐量) )。由于压差有限,标准罗茨泵无法排放到气压,而是需要前级泵。但是,带有溢流阀的罗茨真空泵甚至可以在前级泵处于压力下打开,以从一开始就提高其抽速。这缩短了排空时间。